Infinitesima Metron3D Rapid Probe Metrology System
Infinitesima 革命性的 Metron3D 測量系統為新一代半導體促成內聯 3D 過程監制
英國阿賓頓, Aug. 23, 2022 (GLOBE NEWSWIRE) — Infinitesima 欣然宣佈完成一輪投資，以提高 Metron3D 300 mm 內聯晶圓測量系統的產量，以便於 2022 年第四季度起向客戶發貨。
Metron3D 系統採用公司經過驗證的快速探針顯微鏡 (RPM) 技術和領先行業供應商的模組，以達至最高的性能和可靠性。該系統旨在用於高產量、全自動化、內聯生產過程監控，以滿足高級半導體工藝中對高解像度 3D 測量日益增長的需求。
Infinitesima 技術總監兼創辦人 Andrew Humphris 教授表示：「我們很高興我們獨特的高速探針技術和對內聯 3D 測量不斷增長的行業需求，帶來了強大的客戶體驗。」
該輪投資由 Wonik Investment Partners 領導，該公司是韓國領先的國際公司 Wonik 的子公司，Wonik 經營各種業務，包括半導體材料和設備。
Wonik Investment Partners 總裁 Dong Su Kim 評論說： 「我們看到 Infinitesima 有巨大的增長機會，其獨特的 3D 測量技術和經驗豐富的團隊，可滿足對新一代半導體過程監控越來越具挑戰性的要求。」
Infinitesima 主席兼 ARC InterCapital創辦人 Andrew Dixon 說： 「在我們向領先的半導體製造商推出 Metron3D 之時，我們很高興歡迎 Wonik Investment Partners 成為我們的共同投資者和合作夥伴。」
關於 Infinitesima
Infinitesima Limited 是位於英國的半導體行業先進測量解決方案的領導者。該公司開創了一項創新的技術，結合了原子力顯微鏡的 3D表面偵測能力、高速激光激活，以及快速探針顯微鏡 (RPM) 的干涉測量準確性，當中RPM受到廣泛的專利組合保護。
該公司的 RPM 技術已由領先的半導體設備公司作為模組整合，並由領先的半導體製造商使用。
半導體製造商越來越需要更高解像度的 3D 測量解決方案，以控制目前光學和電子束技術無法解決的新一代過程。Infinitesima 推出了高速 測量系統 Metron3D，其特點是公司的專利 RPM 技術，從而滿足客戶對內聯亞納米* 3D 過程監控不斷增長的需求。
* 1 納米 (nm) 等於一米的 10-9 (單個矽原子的直徑約為 0.2nm)。
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